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PECVD是什么意思

  • 【英文缩写】 PECVD
  • 【英文全称】 plasma enhanced chemical vapor deposition
  • 【缩写分类】 电子电工
  • 【中文意思】 等离子体增强化学气相沉积
  • 【缩写释义】 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。

缩写分类

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